時(shí)間很快進(jìn)入到六月份,極紫外光刻機(jī)項(xiàng)目全部成員再次被徐昀震撼到,哪怕心里面已經(jīng)有了準(zhǔn)備還是被驚的說不出話。
如果前兩次會(huì)議只是單純驚訝難以相信,那么這回則是屬于超出了自己的認(rèn)知。
本來徐昀規(guī)劃好項(xiàng)目接下來的方向后,他們便開始著手研究光源。
盡管大家都知道很有難度,但或許是因?yàn)樾礻赖募尤氡M皆充滿斗志和激情,想要用自己的能力為項(xiàng)目進(jìn)展做出貢獻(xiàn)。
可沒想到事情的發(fā)展超出了所有人預(yù)料。
這才剛過去十幾天,徐昀便再次召開項(xiàng)目會(huì)議。
剛開始他們還以為是進(jìn)一步討論光源的研究,結(jié)果會(huì)議上徐昀竟直接拿出了具體方案。
并且經(jīng)過研究確認(rèn),可行性非常高。
“這份關(guān)于光源的制作方案是我設(shè)計(jì)出來的,我認(rèn)為它的功率足以滿足高端光刻機(jī)需要,接下來我們應(yīng)該盡快將此光源制造出來展開測(cè)試。”
會(huì)議室內(nèi)徐昀看著正在看手中資料的眾人,面色平靜的說出這番話。
那天他用大腦超頻解決光源問題,便立刻將腦海中的方案書寫出來。
并在完成后第一時(shí)間召開項(xiàng)目會(huì)議宣布這件事。
放在以前他突然拿到這個(gè)光源設(shè)計(jì)方案肯定會(huì)引起外界非常大的轟動(dòng),甚至真要懷疑他是不是意外得到了外星文明擁有的技術(shù)。
被調(diào)查監(jiān)控都有可能。
但現(xiàn)在他早已向外界展示出了自己的實(shí)力,他是有能力解決光刻機(jī)問題的。
所以倒也不必故意多耽擱些時(shí)間。
此刻會(huì)議室內(nèi)所有人的注意力都集中在文件上,甚至都不知道是否聽見了徐昀的話,總之絲毫沒有掩飾臉上流露出的詫異和震撼。
包括身為院士的羅長輝。
將大家的反應(yīng)看在眼里,徐昀知道他們不從現(xiàn)有狀態(tài)脫離出來的話,他說的任何話估計(jì)都聽不進(jìn)去。
在這種情況下盡管有些哭笑不得,但也只好選擇閉口不言。
暫時(shí)保持沉默。
就這樣不知多長時(shí)間過去,才見羅長輝率先停下動(dòng)作抬起視線。
“你準(zhǔn)備采用氟化氙光源方案?”
“沒錯(cuò)。”徐昀點(diǎn)頭回答。
他耗費(fèi)積分得到的光源制造方向正是氟化氙光源。
相比市面上常見的其它光源,氟化氙光源性能更優(yōu)適合用于光刻。
不過其制作難度較大。
國內(nèi)始終沒有解決此光源面對(duì)的問題。
羅長輝顯然很清楚各種光源的情況,因此看到文件中內(nèi)容后便基本確定很大概率是可行的。
也就是說只要他們按照這份文件中的設(shè)計(jì)方案來制造氟化氙光源,那么就有可能成功,如此便相當(dāng)于徹底解決了高端光刻機(jī)的光源問題,大幅度縮短國產(chǎn)高端光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度。
但他最震撼的,還是設(shè)計(jì)方案出自徐昀之手。
他可以確定徐昀在加入項(xiàng)目成為負(fù)責(zé)人前,應(yīng)該是沒有系統(tǒng)性研究過光刻機(jī)的。
也就是說徐昀在短短十幾天內(nèi),不但確定了研究方向還完成了方案。
簡直就是妖孽。
盡管早就聽說徐昀的天賦非常強(qiáng)大,連續(xù)創(chuàng)造出了多項(xiàng)不同領(lǐng)域內(nèi)的奇跡。
不過這并沒有什么清晰概念。
而現(xiàn)在他見識(shí)到了。
強(qiáng)行壓制住內(nèi)心無比的激動(dòng),他再次確認(rèn)道:“這份方案是你寫出來的?”
“雖然還沒有進(jìn)行實(shí)際測(cè)試,但我覺得這項(xiàng)理論是可行的?!?br/>
徐昀面色平靜回復(fù)一句,接著又反問道:“羅院士以為這項(xiàng)理論能行嗎?”
“可以試一試?!绷_長輝沉聲答道。
就目前而言他們并沒有其它成熟的光源方案,徐昀的氟化氙光源確實(shí)是最佳選擇。
加上文件中的理論非常詳細(xì),真著手去制造的話用不了多長時(shí)間便能得到穩(wěn)定的氟化氙光源,屆時(shí)是否能滿足光刻機(jī)要求,只需要測(cè)試出光源可以穩(wěn)定發(fā)出的功率就行。
真要成功的話,國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)便相當(dāng)于攻克一項(xiàng)重大難題。
是突破性的進(jìn)展。
關(guān)鍵距離新極紫外光刻機(jī)項(xiàng)目成立還沒多久。
當(dāng)然就算失敗了也沒關(guān)系。
權(quán)當(dāng)積累經(jīng)驗(yàn)。
他們兩人的對(duì)話進(jìn)行到這里,旁邊研究員楊靖教授也終于回過神來,臉上浮現(xiàn)出溢于言表的笑容。
“這份方案太棒了,我敢肯定只要按照上面的去做肯定能制造出功率強(qiáng)大穩(wěn)定的氟化氙光源?!?br/>
隨著他的話音落下,其他幾位研究員也像是被打開了話匣子紛紛開口表態(tài)。
“我暫時(shí)沒發(fā)現(xiàn)有什么漏洞?!?br/>
“方案理論是可行的,我們應(yīng)該立刻嘗試實(shí)驗(yàn)?!?br/>
“院里邀請(qǐng)徐教授您來擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人簡直是非常正確的決定,這才多長時(shí)間您就已經(jīng)有了極紫外光刻機(jī)光源的解決方案?!?br/>
將幾位研究員的話聽進(jìn)耳朵,徐昀臉上浮現(xiàn)出淡然笑容稍微謙虛了句。
“我之前對(duì)光源有過相關(guān)研究,這項(xiàng)方案說實(shí)話也沒有百分百的把握?!?br/>
“別說百分百的把握,哪怕只有一點(diǎn)把握都值得我們?nèi)L試。”羅長輝這時(shí)候情緒也平靜了下來,接過話茬開口補(bǔ)充了句。
光電技術(shù)研究所很早就開始研發(fā)光刻機(jī),奈何相比海外始終落后大截。
根本不具備制造高端芯片的能力。
其中對(duì)光源的研究更是有局限,很難提升光源的功率并且保證穩(wěn)定輸出。
絲毫不夸張的講,若不是有徐昀加入項(xiàng)目組,就憑氟化氙光源都要讓他們研究許久。
畢竟能制造出氟化氙光源沒啥厲害的,關(guān)鍵要能保證功率和持續(xù)性的穩(wěn)定輸出。
無法保證光源穩(wěn)定的話,功率最大值哪怕再大都無法用于極紫外光刻機(jī)。
單憑這點(diǎn)便足以證明徐昀的實(shí)力。
但要說會(huì)議室內(nèi)此刻誰的情緒波動(dòng)最大,那肯定屬劉星和另外幾位博士后研究員助理。
就差把心里想法寫到臉上。
因?yàn)樾礻啦]有把方案復(fù)制太多份,剛才也就只有羅長輝等幾位研究員看到。
突然看見包括羅長輝在內(nèi)的研究員在看完文件后都是這么個(gè)反應(yīng),他們心里難免會(huì)感到非常好奇,尤其后面聽到和光源有關(guān),情緒波動(dòng)的更加激烈知道這絕對(duì)是個(gè)大消息。
最終只見劉星率先按耐不住,投過視線主動(dòng)向徐昀詢問起來。
“那個(gè)徐教授,這份方案我們可以看嗎?”
徐昀自然沒有忘記他們這些研究員助理,既然都屬于項(xiàng)目組成員肯定有知情權(quán)。
再說大家一起努力才能加快進(jìn)度。
本來他是打算會(huì)議結(jié)束后在讓各研究員去說,既然都那么期待提前也沒關(guān)系。
念頭停留在這里徐昀并沒有遲疑什么,當(dāng)即拿起自己面前的方案遞了過去:“你們現(xiàn)在想看那就看吧?!?br/>
“謝謝徐教授?!?br/>
劉星并沒有在這種時(shí)候選擇推辭,聞言連忙走上前接過文件和身邊人分享。
能進(jìn)入到光學(xué)技術(shù)研究所博士后流動(dòng)站,劉星等人可不見得有多么差勁,和楊靖等研究員相比無非是經(jīng)驗(yàn)和資歷上的差距。
對(duì)于文件中的內(nèi)容自然會(huì)有自己的判斷,知道是否具備實(shí)驗(yàn)價(jià)值。
可能是找到光源研究方向心情比較高興緣故,羅長輝楊靖等研究員并沒有表現(xiàn)出不耐煩,而是耐心等待劉星和其他博士后大致看完文件。
不知過去多久,劉星率先回過神來,把文件遞給身旁的人后立刻看向徐昀。
目光中滿是敬佩和激動(dòng)。
“徐教授您太厲害了,沒想到那么快就有了氟化氙光源的制作方法?!?br/>
話音剛落,其余人也不甘示弱紛紛開口。
“沒想到還可以用這種方法來解決氟化氙光源的制造難度問題,我以前竟然沒有任何這方面的想法。”
“有了這份方案,我們是不是很快就能制造出穩(wěn)定的光源?!?br/>
“我已經(jīng)迫不及待想?yún)⑴c實(shí)驗(yàn)了?!?br/>
而這時(shí)沒等徐昀開口回答,坐在旁邊的羅長輝主動(dòng)出聲講道:“現(xiàn)在可還不是我們值得慶祝的時(shí)候,起碼要得到詳細(xì)的氟化氙測(cè)試結(jié)果才行,接下來大家先暫時(shí)停止手上的事情,全力制造氟化氙光源裝置?!蹦芸闯鏊麄€(gè)人的激情已經(jīng)被調(diào)動(dòng)出來。
羅長輝所說的事情正是徐昀接下來的安排,因此便順著補(bǔ)充了句。
“那么今天的會(huì)議就到這里,接下來的時(shí)間我想大家應(yīng)該要有的忙了。”
說完會(huì)議也正式結(jié)束。
今天把項(xiàng)目成員都喊過來參加會(huì)議,主要是商議氟化氙光源制造方案的事,眼下方案已經(jīng)集體通過,那自然沒必要繼續(xù)浪費(fèi)時(shí)間。
何況相信大家經(jīng)過剛才的事情后,都已經(jīng)迫不及待想動(dòng)手了。
畢竟自己能參與到國產(chǎn)首臺(tái)極紫外光刻機(jī)誕生可是件充滿榮耀的事。
當(dāng)然實(shí)際情況也正是如此。
會(huì)議結(jié)束后在徐昀的帶領(lǐng)下,大家都被安排任務(wù)。
立刻著手氟化氙光源的制造。
——
和從零開始制造氟化氙不同,前者需要不斷試錯(cuò)承擔(dān)功率較小或者無法長時(shí)間保持穩(wěn)定輸出的結(jié)果,這個(gè)過程除了需要大量投入外,還非常浪費(fèi)時(shí)間并且最終得不到任何結(jié)果都正常。
但徐昀他們完全不同。
有那份設(shè)計(jì)方案作為依靠,這就相當(dāng)于開卷考試。
他們進(jìn)行的過程就是把答案抄在試卷上,基本不需要費(fèi)太多精力。
加上還有徐昀親自參與,幾乎是在六月底的時(shí)候研究所成功制造出一個(gè)氟化氙光源裝置。
并且為確定是否能用于高端光刻機(jī),當(dāng)天便對(duì)光源的波長功率穩(wěn)定性等進(jìn)行了測(cè)試。
“雖然我覺得這次我們肯定能成功,但不知怎么心里還是有些緊張?!?br/>
2020年6月22日,錦城,光電技術(shù)研究所極紫外光刻機(jī)項(xiàng)目。
光源測(cè)試實(shí)驗(yàn)室外面,穿著白色研究服的楊靖來回邁著步伐顯得有些不安,盡管表面上故作鎮(zhèn)定,但臉上隱藏不了的小表情還是把真實(shí)感受暴露。
這段時(shí)間在參與了光源的制造后,他更加堅(jiān)信徐昀方案的可行性。
認(rèn)為極紫外光刻機(jī)的光源問題已經(jīng)解決。
可眼看最終的光源測(cè)試結(jié)果就要出來,心里多少還是有些忐忑。
相比坐不住的楊靖,羅長輝明顯鎮(zhèn)定許多,坐在旁邊椅子上還不忘打開杯子喝茶。
“把心態(tài)放平和,既然選擇了相信徐教授,那就耐心等待結(jié)果?!?br/>
“我這不是害怕嘛?!睏罹嘎牭搅_長輝這話有些不好意思。
好歹他也是半截身子入土的研究員教授,遇到事情表現(xiàn)的還不如那些博士后,確實(shí)多少有些不太妥當(dāng)。
不過話是那樣說,但試問又有幾個(gè)能真正做到波瀾不驚。
俗話說見過了光明便再難接受黑暗,徐昀的光源方案讓他們看到了希望,屬于國產(chǎn)極紫外光刻機(jī)終于能交付使用的希望。
若最終測(cè)試出的結(jié)果無法達(dá)到要求,那么這些天的努力都將白費(fèi)。
盡管科學(xué)研究本就不應(yīng)懼怕失敗,但對(duì)于項(xiàng)目成員肯定是個(gè)不小的打擊。
楊靖沒有再回應(yīng)羅長輝的話,而是把目光投向了同樣面色平靜的徐昀,稍作遲疑還是嘴唇輕啟詢問了句。
“徐教授?!?br/>
“你說這次我們能成功嗎?”
“當(dāng)然會(huì)成功?!毙礻缆勓杂蠈?duì)方的眼神非常堅(jiān)定的回答。
好歹這也是他耗費(fèi)150積分推導(dǎo)出的方案,自然有著百分百的把握。
可以說出現(xiàn)特殊狀況的概率基本不存在。
正因如此他才全程保持著平靜,壓根沒有擔(dān)心。
甚至要不是楊靖主動(dòng)詢問,他甚至都不打算多說一句話。
但該說不說楊靖聽到徐昀這話鎮(zhèn)定不少,顯然是出于對(duì)徐昀的信任選擇相信光源的測(cè)試結(jié)果。
就這樣大概又過去十多分鐘的時(shí)間,只見穿著研究服的劉星終于從里面走出來,手中還拿著份氟化氙光源的測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告。
幾乎是瞬間大家的注意力便集中在了劉星身上,連羅長輝也猛地站起身來。
而對(duì)此劉星卻像是沒注意到其他人似的,徑直走到徐昀跟前把報(bào)告遞過去的同時(shí)開口匯報(bào)。
“徐教授?!?br/>
“我們的氟化氙光源測(cè)試成功了?!?br/>
“這是詳細(xì)數(shù)據(jù)?!遍唽殨?br/>
盡管徐昀早就清楚會(huì)是這個(gè)結(jié)果,聽到這句話還是突然加快了手上動(dòng)作,迅速查看起上面的詳細(xì)數(shù)據(jù)。
首先氟化氙光源的波長為13.5納米,滿足極紫外光刻機(jī)的要求。
光源工作功率成功達(dá)到250瓦,且非常穩(wěn)定。
也就是說他們制造的氟化氙光源完全能夠使用在極紫外光刻機(jī)上,距離首臺(tái)國產(chǎn)高端光刻機(jī)的正式交付使用又往前邁了一大步。
“你們也都看看吧?!?br/>
徐昀確定這個(gè)結(jié)果,又把手中的報(bào)告分別遞給楊靖羅長輝等人。
后者幾人臉上都浮現(xiàn)出激動(dòng)神情。
“我們真的成功了,這是貨真價(jià)實(shí)的極紫外光源?!?br/>
“這些天加班熬夜付出的辛苦都是值得的,海外那些傲慢的家伙肯定不會(huì)想到我們的研發(fā)會(huì)這么順利?!?br/>
“全靠徐教授我們才能做到今天這步。”
正在大家都沉浸在這份喜悅中時(shí),絲毫沒有隱藏自己臉上激動(dòng)神情的劉星,突然當(dāng)著眾人的面提出了一個(gè)自己的建議。
“徐教授?!?br/>
“我們要不要立刻宣布這個(gè)好消息,讓海外那些人看看我們究竟能不能制造出極紫外高端光刻機(jī)?!?br/>
這句話也得到了楊靖的同意,同樣附和道:“讓大家知道我們?cè)诠庠瓷系闹卮笸黄疲隙〞?huì)非常高興調(diào)動(dòng)出民眾對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域的信任?!?br/>
但對(duì)此徐昀卻選擇了拒絕。
“這件事先不急?!?br/>
搖搖頭表明自己的態(tài)度后,他接著又開口進(jìn)行解釋。
“相比較一個(gè)光源上的突破,倒不如等首臺(tái)國產(chǎn)高端光刻機(jī)交付使用后再對(duì)外界宣布這個(gè)消息,到時(shí)候造成的轟動(dòng)肯定會(huì)更大?!?br/>
“最好能對(duì)海外高端芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈造成巨大影響?!?br/>
“何況我覺得這天很快就會(huì)到來?!背谅曋v道這里徐昀又補(bǔ)充了句。
無論劉星還是楊靖都已經(jīng)被徐昀折服,自然不會(huì)對(duì)其決定有所異議。
仔細(xì)想想確實(shí)不如先把光源上的突破隱瞞下來,等到時(shí)候直接給外界一個(gè)大驚喜。
不過羅長輝卻從徐昀話中聽出了其他信息,暫時(shí)按耐住心中涌現(xiàn)出的莫名激動(dòng),連忙開口進(jìn)行詢問。
“徐教授?!?br/>
“剛才你說這天很快就會(huì)到是什么意思?”
此話一出也頓時(shí)引起了其他人的好奇,都集中注意力等著徐昀的下文。
徐昀倒是沒有要隱瞞的意思,只不過嘴角先是浮現(xiàn)出一抹意味深長的笑容,眨了眨眼回答道:“就是字面意思啊,我正在研究投影系統(tǒng)和掩膜方面的設(shè)計(jì)方案,估計(jì)用不了多久就會(huì)有結(jié)果。”
既然光源問題已經(jīng)被徹底解決,那么接下來自然要著手處理其他兩項(xiàng)問題。
畢竟他現(xiàn)在還剩下不少積分呢。
不得不說他的這句話無疑是一石激起千層浪,再次給了在場眾人一個(gè)深深震撼。
主要聽徐昀這話的意思,似乎已經(jīng)在投影系統(tǒng)和掩膜上有了進(jìn)展。
如果以前他們或許不會(huì)往這方面想,但是現(xiàn)在嗎……
就算徐昀說過倆月就能把極紫外光刻機(jī)制造出來都不會(huì)感到太驚訝。
而震撼之后則是狂喜,想到距離國產(chǎn)高端極紫外光刻機(jī)的出現(xiàn)越來越近,如何不讓人感到興奮激動(dòng)。
(本章完)
晶晶走到唐三身邊,就在他身旁盤膝坐下,向他輕輕的點(diǎn)了點(diǎn)頭。
唐三雙眼微瞇,身體緩緩飄浮而起,在天堂花的花心之上站起身來。他深吸口氣,全身的氣息隨之鼓蕩起來。體內(nèi)的九大血脈經(jīng)過剛才這段時(shí)間的交融,已經(jīng)徹底處于平衡狀態(tài)。自身開始飛速的升華。
額頭上,黃金三叉戟的光紋重新浮現(xiàn)出來,在這一刻,唐三的氣息開始蛻變。他的神識(shí)與黃金三叉戟的烙印相互融合,感應(yīng)著黃金三叉戟的氣息,雙眸開始變得越發(fā)明亮起來。
陣陣猶如梵唱一般的海浪波動(dòng)聲在他身邊響起,強(qiáng)烈的光芒開始迅速的升騰,巨大的金色光影映襯在他背后。唐三瞬間目光如電,向空中凝望。
頓時(shí),”轟”的一聲巨響從天堂花上爆發(fā)而出,巨大的金色光柱沖天而起,直沖云霄。
不遠(yuǎn)處的天狐大妖皇只覺得一股驚天意志爆發(fā),整個(gè)地獄花園都劇烈的顫抖起來,花朵開始迅速的枯萎,所有的氣運(yùn),似乎都在朝著那道金色的光柱凝聚而去。
他臉色大變的同時(shí)也是不敢怠慢,搖身一晃,已經(jīng)現(xiàn)出原形,化為一只身長超過百米的九尾天狐,每一根護(hù)衛(wèi)更是都有著超過三百米的長度,九尾橫空,遮天蔽日。散發(fā)出大量的氣運(yùn)注入地獄花園之中,穩(wěn)定著位面。
地獄花園絕不能破碎,否則的話,對(duì)于天狐族來說就是毀滅性的災(zāi)難。
祖庭,天狐圣山。
原本已經(jīng)收斂的金光驟然再次強(qiáng)烈起來,不僅如此,天狐圣山本體還散發(fā)出白色的光芒,但那白光卻像是向內(nèi)塌陷似的,朝著內(nèi)部涌入。
一道金色光柱毫無預(yù)兆的沖天而起,瞬間沖向高空。
剛剛再次抵擋過一次雷劫的皇者們幾乎是下意識(shí)的全都散開。而下一瞬,那金色光柱就已經(jīng)沖入了劫云之中。
漆黑如墨的劫云瞬間被點(diǎn)亮,化為了暗金色的云朵,所有的紫色在這一刻竟是全部煙消云散,取而代之的,是一道道巨大的金色雷霆。那仿佛充斥著整個(gè)位面怒火。