面對(duì)蘇遠(yuǎn)山帶著期許的眼神,林本堅(jiān)有點(diǎn)不好意思起來(lái)。
回國(guó)之后,他便和之前一直遠(yuǎn)程聯(lián)絡(luò)的趙凱東團(tuán)隊(duì)一頭扎進(jìn)了193nmarf光源的研發(fā)中?,F(xiàn)在正是小有成就,看到曙光的時(shí)候……
坦白說(shuō),他還真沒空去考慮193nm之后的事。而且長(zhǎng)期呆在硅谷,他對(duì)燈塔國(guó)的技術(shù)實(shí)力和技術(shù)遠(yuǎn)見是再了解不過了。
既然燈塔國(guó)那邊都已經(jīng)瞄準(zhǔn)了euv,顯然,這意味著必定是個(gè)方向,起碼也是之一。
不過……既然蘇遠(yuǎn)山問的是“妙招”,而不是下一代光源的方向……
那林本堅(jiān)倒還真有點(diǎn)想法。
“妙招談不上,只是在很早之前有點(diǎn)不成熟的想法?!绷直緢?jiān)有些靦腆地笑道。
蘇遠(yuǎn)山眼睛亮了起來(lái):“林叔您說(shuō)。”
“我在幾年前發(fā)過一篇論文,當(dāng)時(shí)就想過,如果無(wú)法從光源上縮短波長(zhǎng),那么可以考慮其他物理手段來(lái)實(shí)現(xiàn)。譬如在鏡頭與曝光區(qū)域中間加上一層水,這樣就能把波長(zhǎng)降下來(lái)了?!?br/>
說(shuō)著林本堅(jiān)便簡(jiǎn)單介紹了一下自己的思路。
聽完林本堅(jiān)的介紹,這邊蘇遠(yuǎn)山還沒說(shuō)什么,趙凱東和梁夢(mèng)松便齊齊一楞——他倆人都是和光刻機(jī)老打交道的工程師,立刻便意識(shí)到這想法有點(diǎn)過于異想天開了。
趙凱東道:“老林,你這個(gè)怕是不好搞吧?”
梁夢(mèng)松也點(diǎn)頭:“有點(diǎn)過于……咳?!?br/>
林本堅(jiān)只是笑了笑,他現(xiàn)在也沒空去整理方案,只是隨便一說(shuō),自然不指望說(shuō)服這兩人,而且這也不是什么迫在眉睫的事情……
于是,他們?nèi)硕紱]有見到,蘇遠(yuǎn)山眼中升起的笑意。
“嗯,總算有個(gè)想法,什么時(shí)候我找看您那篇paper看看。”蘇遠(yuǎn)山笑著點(diǎn)頭:“現(xiàn)在我們主要還是得解決193nm的問題。”
“現(xiàn)目前,實(shí)現(xiàn)了arf激光光源的主要有兩家,一個(gè)是cymer,一個(gè)是小松。我們和斯塔爾,ibm之流只能說(shuō)在后面追趕……但我相信,追到最后,還能咬著光刻機(jī)光源的應(yīng)該就只有我們一家。”
//注:小松株式會(huì)社,00年與ushio聯(lián)合成立gigaphoton,加上cymer,自此進(jìn)入arf光源雙雄時(shí)代。當(dāng)然,cymer獲得asml的支持在euv光源上拉開距離,又是另外一個(gè)故事了。
蘇遠(yuǎn)山的話,自然得到了所有人的認(rèn)同。
歷史早就證明了,只要你敢沒有這個(gè)技術(shù),國(guó)外就敢搞封鎖,要不賣高價(jià)。
——其實(shí)這種事兒遠(yuǎn)芯也干過。去年遠(yuǎn)芯在北美發(fā)布的mp3和vidoo5m,為什么賣那么貴?真以為成本高昂?
當(dāng)然還是因?yàn)楫?dāng)時(shí)只有遠(yuǎn)芯一家推出了mp3功能。
今年的北美發(fā)布會(huì)上,在同行們紛紛推出同樣功能手機(jī)和mp3后,vidoo6m的首發(fā)價(jià)早就降了下來(lái),而且到現(xiàn)在已經(jīng)進(jìn)行了兩輪的價(jià)格調(diào)整。雖然依舊還是市面上最貴的手機(jī),但起碼價(jià)格不會(huì)高得逆天。
“小山,不過我現(xiàn)在有點(diǎn)擔(dān)心?!壁w凱東接過蘇遠(yuǎn)山的話道:“老趙那邊催得倒是兇,說(shuō)什么要自主自產(chǎn),但他現(xiàn)在和小松,cymer接洽得很頻繁。到時(shí)候別我們把光源系統(tǒng)搞出來(lái)……他不用……就有點(diǎn)煩了?!?br/>
蘇遠(yuǎn)山還真的怔了一下,他仔細(xì)想了想,頓時(shí)樂了——好像,似乎,大概……鄭振川真能干得出來(lái)這種事!
要知道,鄭振川是鐵了心的要把光刻機(jī)搞上去。
而且鄭振川也比任何人都知道,光刻機(jī)走到最后,一定會(huì)是“萬(wàn)國(guó)造”。
就目前而言,沒有任何一個(gè)企業(yè),一個(gè)國(guó)家,能夠完成越來(lái)越精密的高端光刻機(jī)零部件全部自產(chǎn)。
所以在鄭振川看來(lái),國(guó)內(nèi)光刻機(jī)要真正崛起,絕對(duì)不能只盯著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)——那樣只能造出一堆運(yùn)用在低端產(chǎn)業(yè)鏈上的光刻機(jī)。
所以……鄭振川積極與世界先進(jìn)的零部件供應(yīng)商接觸,那自然無(wú)可厚非。
其實(shí)別說(shuō)鄭振川,就是蘇遠(yuǎn)山也是這么干的!
——只要國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)一刻不能追平尼康佳能,那德遠(yuǎn)的光刻機(jī)首選便必定是尼康佳能。
換言之就是,只要遠(yuǎn)芯這邊的光路系統(tǒng)一刻不能追上cymer、小松,那鄭振川的光路系統(tǒng)首選便必定是cymer,小松。
“天道好輪回啊?!碧K遠(yuǎn)山大笑起來(lái):“我們借鄭叔他們逼國(guó)外賣我們光刻機(jī),鄭叔他們借我們逼國(guó)外給他們提供光源系統(tǒng)……”
趙凱東一邊摸著稀釋的頭發(fā),一邊搖頭,絲毫不覺得臉紅地笑道:“嘴里說(shuō)著支持,實(shí)際上都是利用,就跟我們催長(zhǎng)光所一樣?!?br/>
要知道,光源系統(tǒng)可不是單獨(dú)的一個(gè)激光器,還包含了整個(gè)光路解決方案的透鏡組和整套控制方案。
現(xiàn)目前,實(shí)驗(yàn)室這邊的物鏡系統(tǒng)主要還是采用的蔡司透鏡——比較有利的一點(diǎn)是,蔡司目前與尼康佳能等透鏡大佬競(jìng)爭(zhēng)得很激烈,遠(yuǎn)芯這邊還不愁采購(gòu)。
但是,基于未雨綢繆,自主自產(chǎn)的方針。這邊實(shí)驗(yàn)室也和鄭振川一樣,不停地給長(zhǎng)光所的透鏡實(shí)驗(yàn)室加油鼓勁……喊他們?cè)缛赵诩夹g(shù)上追歐超霓。
那么意思也同樣是——只要國(guó)產(chǎn)透鏡一日追不上尼康佳能蔡司,那么遠(yuǎn)芯這邊便必定要選擇那三家,而且還得選最優(yōu)秀的。
唯有這樣,光刻機(jī)才能在最終的產(chǎn)品市場(chǎng)領(lǐng)域里擁有一戰(zhàn)之力。
……
眾人笑過之后,蘇遠(yuǎn)山卻漸漸沉默了下來(lái)。他望向趙凱東和林本堅(jiān)以及梁夢(mèng)松三人,輕聲道。
“林叔,趙叔,梁博士。我不止一次地說(shuō),我們腳下的這片土地,是一個(gè)擁有十三億人口的大國(guó)——它的人口是歐美日的總和?!?br/>
“除非有人敢證明,這十三億人的智力水平普遍低于所謂的發(fā)達(dá)國(guó)家。否則,我相信,聰明腦袋的比例是一樣的?!?br/>
“而所有的技術(shù),都誕生于人類智慧的結(jié)晶和創(chuàng)造。那么,歐美日加起來(lái)能完成的事,我們也一定能完成——最起碼,拋開自然資源,技術(shù)層面應(yīng)是如此?!?br/>
“也就是說(shuō),當(dāng)時(shí)間尺度放大到五十年,一百年,乃至更久遠(yuǎn)之后……我們終究有一天會(huì)把所有的領(lǐng)域都追上來(lái)?!?br/>
“所以,縱然我認(rèn)為光刻機(jī)這樣匯聚著人類最頂尖智慧的技術(shù),需要數(shù)個(gè)國(guó)家、無(wú)數(shù)聰明大腦的共同努力才能完成?!?br/>
“但我同樣認(rèn)為,我們應(yīng)該有獨(dú)立完成的可能性。”
“而我們現(xiàn)在,唯一缺的,只是時(shí)間?!?br/>
“所以,即便我們的光源系統(tǒng)只能當(dāng)備胎,我們也必須堅(jiān)持搞下去?!?br/>
//注見本章說(shuō),說(shuō)多了怕被404。
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離開實(shí)驗(yàn)室后,梁夢(mèng)松跟在蘇遠(yuǎn)山身后半步,兩人沿著葡萄路一路走向廠區(qū)實(shí)驗(yàn)室。