換上全套防塵裝備，穿過風淋室，一群全身上下裹得嚴嚴實實的工程師早已站成兩排等在面前。
蘇遠山看著胸卡，認出了戴著口罩的龐克明——他在成光所時代便是鄭振川的“徒弟”，如今鄭振川雖然還活躍在技術一線，但畢竟是當老總的人，精力難以為繼。所以便把攻克難關的任務交給了龐克明。
而且按照宏芯的計劃，在完成浸潤式光刻的攻克后，龐克明將就地在滬市建立分廠。
畢竟，作為工業(yè)和出口重鎮(zhèn)，滬市比起省城的優(yōu)勢確實大不少，更重要的是，滬市這邊有德遠總部。今后如果不出意外，省城這邊的總部將更多會保留科研單位，進行技術攻關，而裝配工作會逐漸轉移到滬市這邊。
“龐工。”
“山總，我懶得再防塵服，就沒出來，你沒見怪吧？”
“呵呵，沒有沒有，大家辛苦了。”蘇遠山一邊和眾人打著招呼，一邊望向前方不遠處的“大機柜”。
很好，看來確實是萬事俱備，只欠自己這場東風了。
“在諸位領導的……”龐克明帶著蘇遠山走向光刻機，他看了眼跟在蘇遠山身后的幾位大佬，笑著替蘇遠山介紹道。
“龐工，撿重點說。”蘇遠山目不轉睛地盯著光刻機，聽到龐克明要搞這種形式主義，馬上擺手：“多久能進廠？”
龐克明便看到，一干人的臉上都露出了笑意，他也輕輕咳了一聲，篤定地道：“現在就可以進廠。”
“哦？意思是，現在就能量產了？”蘇遠山轉身看著龐克明，很有幾分遲疑——他一直關注著這邊團隊的進度，是以對光刻機參數了如指掌，壓根不需要龐克明介紹。
他最看重的，還是何時能夠量產。
原型機和量產機，那真的是有區(qū)別的。
“在設計之初，我們就考慮到了量產的問題?！饼嬁嗣餍χ鸬溃骸爱斎?，現在就說能接訂單量產那肯定有些吹牛皮，不過讓這臺原型機進廠跑起來，然后提供維護的方案，我們肯定是有的?！?br/>
蘇遠山又轉頭看著林本堅等人，只見這老幾位雖然帶著口罩，但也都眼角含笑，心中便知道龐克明所言非虛，當下便哈哈一笑，喜上眉梢。
“不錯，不錯！走，我看一眼測試?！?br/>
“好的，而且為了測試，我們還發(fā)明了一種專門用于光刻機測試的掩膜版和工序，它包括了套刻測試圖形和參數計算公式。”
龐克明示意下屬開始演示。
“山總，傳統(tǒng)的測試分辨率和焦距的方法是制作光刻線寬測試版，即在光刻版的各個區(qū)域上都均勻放置一組線寬測試圖形，在圓片上曝光后用掃描電鏡測試該圖形的線寬數據，然后再來評價光刻機鏡頭各區(qū)域的分辨率和最佳焦距。我們這個算是一步到位，簡單方便，啪的一閃，就能直接得出光刻機的參數了?！?br/>
“嗯，不錯！”蘇遠山再次點頭。
……
……
兩小時后，蘇遠山幾乎是一路飄著走出了無塵室。
作為宏芯的代表，龐克明這次就不能再撿懶了，他也和林本堅，趙凱東，梁孟松等一起進入了會議室。
“客套話我就不說了，意義我也不重復了，論功行賞什么的……”蘇遠山見眾人都笑了起來，他也呵呵一笑：“咱們要低調點，不能搶了上面的風頭?！?br/>
“意思是，我們還要等上面驗收？”龐克明看著蘇遠山，試探性地問道。
蘇遠山微微一笑，點了點頭：“雖然咱們早就過了驗收報喜的階段，而且我們也沒有拿國家的錢，不需要上頭來檢查什么的，更不需要對上面負責……但該給的面子還是要給嘛?！?br/>
在座幾人紛紛點頭。
縱然大家都是一心搞技術的工程師，但活了這么大歲數，這種又不違背原則，又能讓國家開心的事，怎么都是支持的。
“不過這事兒你們別著急，龐工你也要給鄭叔說一聲，咱們這個消息要先保密起來——因為下個月半導體峰會就要召開了，現在初步想法是，等到半導體峰會結束之后再正式發(fā)布。”
“然后這段時間，你們看能不能抓緊時間進廠，把良率……”蘇遠山說著自己就愣了一下，隨即不好意思地笑了起來：“哎呀，時間太緊了，估計來不及?！?br/>
梁孟松和龐克明相視一笑——進廠的話，那這活兒就應該是他倆來干了。
從現在到五月十五號半導體峰會，滿打滿算都只有一個月掛零的時間，要在這么短的時間內完成拆裝——嗯，加班加點的話，也不是不行。但如果要正式投入使用，完善工藝和制程，那沒有三五個月還真的是休想。
畢竟，這臺浸潤式duv光刻機，它理論上可以提供太多太多的可能的了。
“這樣，大家還是先錦衣夜行一段時間，這段時間，大家好好休個假，放松放松。等到半導體峰會之后，我們再說?！?br/>
“那讓上頭驗收的事？”
“這事我先去找領導商量商量——別的人可以瞞，在滬市這地盤，領導可是不能瞞的?！?br/>
蘇遠山腦中浮現出領導圓乎乎的笑臉，不由自主地浮出了笑意。
來滬市，他怎么都要去領導那兒逛一圈的，而這事兒，領導顯然也是必須知道的。
……
由于依舊處于保密階段，大家也就沒有怎么大張旗鼓地慶祝，晚上只是由蘇遠山做東，請了林本堅等幾個勞苦功高的負責人在酒店吃了頓平平無奇的晚餐。
第二天，他便去了領導辦公室，在辦公室里，領導本來只給他三十分鐘時間敘舊的，結果時間一直推遲到了兩個小時……
到最后，蘇遠山好說歹說，才把領導給勸住，讓他裝一下……
當時領導給蘇遠山的話是“那我偷偷摸摸地去看一看總行了吧？”
把蘇遠山給樂得……
不過最終，領導還是聽了蘇遠山的勸。假裝自己沒有聽到這個消息，然后也給蘇遠山出了個主意，讓蘇遠山不要聲張——既然要讓上頭開心一下，那就在半導體峰會期間或者臨近半導體峰會的時候再上報，不然的話人多嘴雜，到時候提前泄露就沒意思了。
領導是知道蘇遠山的算盤的——蘇遠山想用半導體峰會來甄別一下真正的盟友。