萬(wàn)千的目光再一次刷地射向了山上一郎。
但他毫不在乎。
一個(gè)天才的設(shè)計(jì)方案?就能把a(bǔ)rf193nm的波長(zhǎng)變成134nm?
鬧著玩呢這是?
臺(tái)上,蘇遠(yuǎn)山也在看著山上一郎,他知道這位老兄進(jìn)尼康就在磨玻璃,對(duì)光源系統(tǒng)極為熟悉——反正蘇遠(yuǎn)山在光學(xué)領(lǐng)域,在對(duì)方面前就是小學(xué)生級(jí)別。
但蘇遠(yuǎn)山毫不在乎,也很能理解山上一郎為什么會(huì)在這種場(chǎng)合失態(tài)。
別說(shuō)現(xiàn)在猛地聽(tīng)到遠(yuǎn)芯保密了三四年的技術(shù),就算是歷史上,當(dāng)林本堅(jiān)拿著詳細(xì)的論證找上門(mén)的時(shí)候,尼康佳能都沒(méi)正眼看人家一眼,并認(rèn)為這家伙純粹就是個(gè)瘋子,讓臺(tái)積電好好管一管,找點(diǎn)藥給他吃。
也就是asml當(dāng)時(shí)人小勢(shì)微,雖然被intel拉著進(jìn)了euv聯(lián)盟畫(huà)了大餅,但在市場(chǎng)上,依舊不敵霓國(guó)人,必須彎道超車(chē)才能贏得了的樣子……所以最終才選擇了信任林本堅(jiān)。
但蘇遠(yuǎn)山也并沒(méi)有回答山上一郎。
因?yàn)樗吹?,和山上一郎只隔著一個(gè)作為的李明柳已經(jīng)看了過(guò)去。
“immersion。”李明柳身子前傾了一點(diǎn),把自己暴露在了山上一郎的視線(xiàn)中,并給出了個(gè)英文單詞。
“什么?”聽(tīng)到聲音,山上一郎瞬間轉(zhuǎn)頭望向李明柳。
“immersion,浸潤(rùn)式光刻?!痹谶h(yuǎn)芯諸多技術(shù)大佬中,李明柳向來(lái)以嚴(yán)肅著稱(chēng),常年執(zhí)掌遠(yuǎn)芯第二大研發(fā)基地的他如今身上早就多了幾分所謂的“威嚴(yán)”,凡事喜歡點(diǎn)到為止,不想說(shuō)過(guò)多。
惜字如金的兩句后,李明柳便恢復(fù)了坐姿。
臺(tái)上,蘇遠(yuǎn)山也只是一笑:“消息我是帶到了,信不信那就……好吧,其實(shí)我是相信的?!?br/>
說(shuō)完后,蘇遠(yuǎn)山離開(kāi)講臺(tái),對(duì)臺(tái)下微微鞠躬,然后退場(chǎng)。
直到這時(shí),就如同一盆冰水上丟了一坨燒紅的鐵塊,整個(gè)會(huì)場(chǎng)瞬間便沸騰了起來(lái)。
——和霓國(guó)人不一樣,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)蘇遠(yuǎn)山有著近似迷信一般的信賴(lài),在先前短暫的懵懂狀態(tài)后,此刻立刻陷入了興奮和激動(dòng)中,會(huì)場(chǎng)剎那間便變成了菜市場(chǎng)。
李明柳的聲音說(shuō)得并不大,靠后的與會(huì)人員并不能聽(tīng)清,但不妨礙他們挨個(gè)拍著前排的肩膀一路問(wèn)下來(lái)。
在一片嘈雜中,山上一郎重新坐了下來(lái)。
他腦子慢慢恢復(fù)了清醒。
他理智上無(wú)法接受,但理智又告訴他,這……極有可能是真的。
因?yàn)樘K遠(yuǎn)山,沒(méi)有必要在這個(gè)時(shí)候這個(gè)場(chǎng)合來(lái)騙人。
——因?yàn)橐坏┍蛔C實(shí)是假消息,那么非但是蘇遠(yuǎn)山個(gè)人的聲譽(yù),宏芯的聲譽(yù),乃至整個(gè)內(nèi)地半導(dǎo)體行業(yè)的聲譽(yù),都將受到毀滅性的倒塌。
浸潤(rùn)式光刻?
難道放水里?
瘋了吧!
這時(shí),蘇遠(yuǎn)山的聲音透過(guò)幾個(gè)座位慢慢傳來(lái)。
“通過(guò)在鏡頭與襯底之間加入于玻璃折射率接近的水,減小物鏡射出的光折射角,從而提升物鏡的孔徑,提高分辨率。根據(jù)cd=k1*λ/na,用水替代空氣后,就相當(dāng)于193nm波長(zhǎng)等效縮短到134nm?!?br/>
“而且……它不需要重新研制光刻膠?!?br/>
蘇遠(yuǎn)山看著在自己身旁圍成一圈的眾人,嘴角微微一翹。