既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件臺(tái)技術(shù)上取得了突破，蘇遠(yuǎn)山接下來(lái)可就真有點(diǎn)坐不住了。
　　
　　但他太了解曲慧了。
　　
　　這姐妹兒，干練豪爽不說(shuō)，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎么問(wèn)都是沒(méi)個(gè)結(jié)果的。
　　
　　好在一小時(shí)并不長(zhǎng)，當(dāng)他打開(kāi)一篇最新的石墨烯領(lǐng)域的paper后，時(shí)間便迅速流逝起來(lái)。
　　
　　嗯，主要是他現(xiàn)在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
　　
　　……
　　
　　一小時(shí)后，曲慧與鄭振川如約而至。
　　
　　“鄭叔，慧姐，好久不見(jiàn)?！碧K遠(yuǎn)山早已在客座沙發(fā)旁等著，就連茶都已經(jīng)準(zhǔn)備好了。
　　
　　“嗯，是有不少時(shí)間了。”曲慧出乎意料地留了頭發(fā)，還梳了個(gè)馬尾，脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠(yuǎn)山對(duì)面。
　　
　　“這下可以說(shuō)了吧，到底是什么驚喜——?jiǎng)e讓我猜啊?！?br/>　　
　　“其實(shí)就是工件臺(tái)成了?！鼻垡桓痹频L(fēng)輕的表情，端起茶杯吹了口氣后笑瞇瞇地道：“你猜到了是吧？”
　　
　　“你和鄭叔一起過(guò)來(lái)，不是光刻機(jī)的事還能是啥？”蘇遠(yuǎn)山一攤手，笑道：“讓我干等了一個(gè)小時(shí)，再驚的喜也給整沒(méi)了?！?br/>　　
　　“害！我就應(yīng)該給周小慧偷偷打個(gè)電話問(wèn)一下的——對(duì)了，周小慧呢？”
　　
　　“不知道，估計(jì)是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過(guò)來(lái)，她去接待一下?！碧K遠(yuǎn)山頓了頓，望向鄭振川：“鄭叔，別告訴我，你們已經(jīng)將工件臺(tái)用在光刻機(jī)上了。”
　　
　　“哈哈，當(dāng)然沒(méi)有?！?br/>　　
　　鄭振川放下茶杯，沖蘇遠(yuǎn)山樂(lè)道：“你先聽(tīng)小曲的，等會(huì)我再說(shuō)?！?br/>　　
　　“嗯……”蘇遠(yuǎn)山聽(tīng)到鄭振川這語(yǔ)氣，頓時(shí)心中多了幾分“警惕”起來(lái)。
　　
　　這老爺子，語(yǔ)氣聽(tīng)起來(lái)不對(duì)吶！
　　
　　感情這次不是單純的“報(bào)喜”，似乎還有套等著自己。
　　
　　不過(guò)他依舊不動(dòng)聲色，整個(gè)人放松了姿勢(shì)：“曲慧姐，你說(shuō)，工件臺(tái)到底怎么樣了?！?br/>　　
　　“成了，但有點(diǎn)麻煩?！鼻壑捞K遠(yuǎn)山對(duì)光刻機(jī)傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開(kāi)玩笑，正色了起來(lái)：“你知道的，制約國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)精度的最大敵人就是精度?！?br/>　　
　　蘇遠(yuǎn)山點(diǎn)頭：“嗯，不用你說(shuō)，我就算再不懂機(jī)械也知道?！?br/>　　
　　“精度的最大問(wèn)題又會(huì)最終落在電機(jī)控制，材料，加工精度上?！鼻勖蛑欤?。
　　
　　“雙工件臺(tái)的構(gòu)想是根據(jù)華羅庚先生的統(tǒng)籌方法思想而來(lái)，原理就是把在曝光過(guò)程中處于等待狀態(tài)下的流程先走一步。實(shí)現(xiàn)一個(gè)工件臺(tái)曝光，一邊進(jìn)行測(cè)量對(duì)準(zhǔn)等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測(cè)量對(duì)準(zhǔn)，從而直接就可以移動(dòng)平臺(tái)，然后曝光。”
　　
　　“根據(jù)我們的估計(jì)，在目前的工藝水平下，采用雙工件臺(tái)除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——?jiǎng)e的不說(shuō)，10%起碼有的?！?br/>　　
　　蘇遠(yuǎn)山再次點(diǎn)頭：“然后呢？”
　　
　　“我們這次取得的突破，是在運(yùn)動(dòng)定位模塊和流程控制系統(tǒng)上?！?br/>　　
　　蘇遠(yuǎn)山聽(tīng)得眉毛一揚(yáng)！
　　
　　他哪怕對(duì)雙工件臺(tái)的設(shè)計(jì)和原理再不懂，他也知道，實(shí)現(xiàn)雙工件臺(tái)最困難的地方便是運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)，是真正的“牽一發(fā)動(dòng)全身”“差之毫厘，謬之千里”。
　　
　　而且蘇遠(yuǎn)山還知道，asml的初代雙工件臺(tái)，其實(shí)效率并不十分高，只能說(shuō)略有提升——就是因?yàn)榭刂葡到y(tǒng)不成熟。不然也不會(huì)直到浸沒(méi)式光刻機(jī)出來(lái)之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
　　
　　雙工件臺(tái)技術(shù)真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術(shù)誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。
　　
　　但一切的前提還是控制系統(tǒng)。
　　
　　那么……既然都已經(jīng)取得突破了，還有什么麻煩？
　　
　　“那麻煩在哪？”
　　
　　“麻煩在于，我們目前只能實(shí)現(xiàn)0.5微米的精度?！鼻劬o縮著眉，凝望著蘇遠(yuǎn)山道：“而且，精度越高，摩擦系數(shù)和阻尼作用就越強(qiáng)。我有點(diǎn)擔(dān)心，它在未來(lái)能不能追上光刻機(jī)的步伐。”
　　
　　“我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件臺(tái)無(wú)法用在最先進(jìn)的光刻機(jī)上，那它的意義就少了許多?！?br/>　　
　　“還有一點(diǎn)，我們目前的工業(yè)基礎(chǔ)，只能允許我們做到這個(gè)極限?！?br/>　　
　　蘇遠(yuǎn)山沉默地聽(tīng)著曲慧的介紹，終于明白了她的憂慮在哪。
　　
　　幾秒后，蘇遠(yuǎn)山微笑著搖頭：“曲慧姐，其實(shí)你們已經(jīng)很厲害了?！?br/>　　
　　他這句話不是安慰人，而是真心這樣認(rèn)為。
　　
　　雖然他很少直接去首都精科那邊，但各種支持從來(lái)都是不遺余力的。要什么協(xié)助給什么協(xié)助，就算要機(jī)床，他也在前年的時(shí)候費(fèi)盡周折地搞了一臺(tái)。
　　
　　所以，雙工件臺(tái)名義上是首都精科一個(gè)企業(yè)搞的技術(shù)，但實(shí)際上，卻是一個(gè)由原首都精密儀器研究所，遠(yuǎn)芯，志遠(yuǎn)，清華這四方巨頭聯(lián)合進(jìn)行的一次技術(shù)攻關(guān)。
　　
　　從陣容上，這個(gè)團(tuán)隊(duì)就已經(jīng)堪稱豪華了。
　　
　　要知道，搞機(jī)械，特別是精密機(jī)械，它不比搞程序設(shè)計(jì)。
　　
　　程序設(shè)計(jì)可以叫囂“只有想不到，沒(méi)有做不到”，但機(jī)械設(shè)計(jì)還真是，你能想到，但基本上辦不到。
　　
　　雙工件臺(tái)的構(gòu)思說(shuō)白了，就如曲慧所說(shuō)的那樣，源自華羅庚老先生的統(tǒng)籌方法——就是在等待燒開(kāi)水的過(guò)程中就把茶杯洗干凈，茶葉拿出來(lái)丟進(jìn)杯子里，順便還擰著暖水壺在一旁等著，只要水開(kāi)，馬上就能泡茶，裝水，一氣呵成。比等水開(kāi)了再去找茶葉洗茶杯要節(jié)約很多時(shí)間。
　　
　　但真要實(shí)現(xiàn)起來(lái)卻不簡(jiǎn)單，畢竟這是兩個(gè)工件臺(tái)的協(xié)同配合，而且要保持高速運(yùn)動(dòng)下的0.5微米的運(yùn)動(dòng)精度——其難度相當(dāng)于在兩架并肩飛行的飛機(jī)上，其中一架飛機(jī)伸出一根桿子，在對(duì)面的機(jī)身上刻0.5微米大小的字。
　　
　　至于為什么曲慧會(huì)在取得如此的成果后依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠(yuǎn)山完全能夠理解。
　　
　　因?yàn)榍蹌偝鲂ｉT就進(jìn)入了遠(yuǎn)芯，親自參加了eda的誕生，又親眼見(jiàn)證了遠(yuǎn)芯在各個(gè)領(lǐng)域的崛起。
　　
　　說(shuō)白了，就是曲慧所參與，所看到的，全是世界頂級(jí)的技術(shù)成果。
　　
　　雙工件臺(tái)雖然出來(lái)了，卻無(wú)法給國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)帶來(lái)本質(zhì)上的技術(shù)飛躍。