蘇遠(yuǎn)山突然覺(jué)得嘴皮有點(diǎn)干，沉默許久后，他抿著嘴唇，輕聲道。
　　
　　“我得承認(rèn)，我這段時(shí)間確實(shí)對(duì)光刻機(jī)領(lǐng)域關(guān)注得少了一點(diǎn)?！?br/>　　
　　曲慧此時(shí)已經(jīng)放下書，望著他，正色道：“你不止是少一點(diǎn)，光刻機(jī)是不能放棄的?！?br/>　　
　　“是。”蘇遠(yuǎn)山點(diǎn)頭，再次沉默幾秒后望向鄭振川：“鄭叔，就算德遠(yuǎn)采購(gòu)明年的krf光刻機(jī)，能夠讓你們擁有競(jìng)爭(zhēng)力嗎？”
　　
　　“或者說(shuō)，你們宏芯真的到了必須得靠德遠(yuǎn)采購(gòu)才能活下去的時(shí)候了？”
　　
　　“不……當(dāng)然不是。”鄭振川馬上搖頭：“如果德遠(yuǎn)能夠采購(gòu)我們的光刻機(jī)，國(guó)內(nèi)一幫人肯定會(huì)閉嘴的，更何況……我們還有雙工件臺(tái)呢。”
　　
　　蘇遠(yuǎn)山微微點(diǎn)頭。
　　
　　這個(gè)理由他認(rèn)可。
　　
　　從規(guī)模上，德遠(yuǎn)當(dāng)然比不過(guò)intel，德儀，nec這種老牌半導(dǎo)體企業(yè)，甚至連島上的聯(lián)電都比不過(guò)。
　　
　　但從制程工藝和技術(shù)實(shí)力來(lái)看，德遠(yuǎn)的崛起確實(shí)帶著濃濃的遠(yuǎn)芯印記，短短四年時(shí)間不到，就追上了制程領(lǐng)域的第一梯隊(duì)，堪稱半導(dǎo)體行業(yè)的奇跡。
　　
　　而從德遠(yuǎn)上個(gè)季度公布的財(cái)報(bào)來(lái)看，德遠(yuǎn)也躋身進(jìn)了十大晶圓廠。甚至因?yàn)椴](méi)有涉足目前正受沖擊的dram領(lǐng)域，還一舉超過(guò)了nec和德儀，一舉進(jìn)入了前六。
　　
　　如果能拿到德遠(yuǎn)的“認(rèn)可”，顯然對(duì)宏芯的光刻機(jī)是有正面宣傳意義的。
　　
　　沉默著，蘇遠(yuǎn)山突然望向曲慧。
　　
　　“曲慧姐，你們那邊的定位精度在一年內(nèi)能提到多少？有計(jì)劃表沒(méi)有？”
　　
　　——工件臺(tái)的精度與光刻機(jī)的制程工藝是兩碼事，一般來(lái)說(shuō)，0.5微米制程，搭配糾偏系統(tǒng)的話，需要的套刻精度是0.1微米以下。
　　
　　套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更換掩膜進(jìn)行重復(fù)曝光，這兩次曝光的過(guò)程中的掩膜，需要精確地套疊在一起，因此被稱為套刻。
　　
　　而眾所周知，工件臺(tái)是光刻機(jī)工作時(shí)所有工序的平臺(tái)，因此套刻精度又受工件臺(tái)定位精度的直接影響。
　　
　　在引入誤差后，雙工件臺(tái)的精度起碼還得提升個(gè)10倍，達(dá)到0.05微米的精度以上，才能真正用在0.25微米的制程工藝上——這才是遠(yuǎn)芯需要的光刻機(jī)。
　　
　　而后世的工件臺(tái)，定位精度甚至能夠達(dá)到2納米以下！加上多重曝光，理論上甚至能實(shí)現(xiàn)2納米的制程。
　　
　　現(xiàn)在曲慧說(shuō)定位精度在0.5微米，那意思就是首都精科那邊只能算是造出了雙工件臺(tái)，要真正運(yùn)用在光刻機(jī)上，還需要進(jìn)行不斷的調(diào)試。
　　
　　蘇遠(yuǎn)山對(duì)機(jī)械不甚了解，他只知道，如果零部件誤差在允許范圍內(nèi)的話，那么精度的提升就只能依靠糾偏系統(tǒng)了。
　　
　　糾偏系統(tǒng)，顧名思義，就是糾正偏移的系統(tǒng)。它的工作原理說(shuō)簡(jiǎn)單也簡(jiǎn)單，就是搭配光柵傳感器，把精度控制、調(diào)整在可以接受的范圍內(nèi)。但說(shuō)復(fù)雜也復(fù)雜，因?yàn)樗鼘?duì)運(yùn)動(dòng)控制模塊的要求相當(dāng)高。
　　
　　曲慧合上書，回答道：“計(jì)劃當(dāng)然是有計(jì)劃，我們接下來(lái)會(huì)一直繼續(xù)優(yōu)化糾偏系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制模塊，但現(xiàn)在沒(méi)辦法告訴你準(zhǔn)確的進(jìn)度?！?br/>　　
　　蘇遠(yuǎn)山慢慢點(diǎn)頭，突然問(wèn)道：“首都高科對(duì)雙工件臺(tái)的出口計(jì)劃是什么？”
　　
　　鄭振川和曲慧一對(duì)視，兩人同時(shí)沉默。
　　
　　片刻后，鄭振川輕聲道：“小山，我們被國(guó)外掐脖子掐得夠厲害了，我認(rèn)為我們的雙工件臺(tái)不需要出口。”
　　
　　曲慧同樣點(diǎn)頭：“我也認(rèn)為?！?br/>　　
　　……
　　
　　蘇遠(yuǎn)山長(zhǎng)長(zhǎng)地嘆了一口氣。
　　
　　直到現(xiàn)在，他才終于弄明白了這二人的真正來(lái)意。
　　
　　曲慧的想法，大概是她更多從要之前被掐脖子掐得狠了，現(xiàn)在終于輪到自己領(lǐng)先，要“爽一把”的角度來(lái)考慮。
　　
　　而鄭振川，則是考慮到雙工件臺(tái)所帶來(lái)的效率提升，必定會(huì)賦予宏芯光刻機(jī)強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)力——說(shuō)白了，就是鄭振川把國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的未來(lái)押在了雙工件臺(tái)上。
　　
　　但顯然……首都精科那邊的想法不一樣。
　　
　　畢竟這是產(chǎn)品，而不是技術(shù)。
　　
　　是，產(chǎn)品是存在著被山寨的可能，但別忘了，有種東西叫防拆自毀裝置——這還是西方搞出來(lái)的。
　　
　　一旦出口，則意味著首都精科將會(huì)擁抱更大的市場(chǎng)，擁有更高的平臺(tái)，甚至還極有可能用雙工件臺(tái)來(lái)?yè)Q取某些領(lǐng)域封鎖的解除。
　　
　　而世人皆知，遠(yuǎn)芯在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)，擁有無(wú)比的前瞻和影響力。
　　
　　如果遠(yuǎn)芯能夠表明態(tài)度，那么這雙工件臺(tái)到底是被列為禁止單獨(dú)出口的設(shè)備，還是可以供貨給目前世界所有的光刻機(jī)企業(yè)……或許就能塵埃落定了。
　　
　　——這便是兩人在雙工件臺(tái)剛好完成“拼裝”，還處于保密期就來(lái)找蘇遠(yuǎn)山的原因。
　　
　　……
　　
　　蘇遠(yuǎn)山當(dāng)然知道雙工件臺(tái)的重要性。
　　
　　他而且還知道，在歷史上的4年后，asml就會(huì)利用上雙工件臺(tái)技術(shù)。而數(shù)年后，更是依靠磁懸浮雙工件臺(tái)和浸潤(rùn)式技術(shù)大殺四方，徹底把尼康佳能徹底打落塵埃。
　　
　　甚至尼康的老總在后世還說(shuō)過(guò)這么一句話——“你們或許能夠搞定光源，但是工件臺(tái)對(duì)你們來(lái)說(shuō)，那太難了?！?br/>　　
　　當(dāng)然，事實(shí)證明，他這句話錯(cuò)得離譜。
　　
　　曲慧見(jiàn)蘇遠(yuǎn)山一直沉默，終于忍不住了：“小山，你表個(gè)態(tài)?！?br/>　　
　　“我怎么表態(tài)？”蘇遠(yuǎn)山抬起頭，眼神中全是糾結(jié)：“理智告訴我，如果首都精科能夠在一年內(nèi)把雙工件臺(tái)的精度提高到可以適配最先進(jìn)的制程，那么你們掌握的將是這個(gè)世界最強(qiáng)大的光刻機(jī)三大核心系統(tǒng)之一?！?br/>　　
　　“如果你們?cè)敢獬隹?，在光刻機(jī)這種只爭(zhēng)朝夕的領(lǐng)域，你們將打敗所有的未知敵人。哪怕wa協(xié)議再牛逼，也不得不給你們額外開(kāi)一條口子。最頂尖的超高精密加工廠將會(huì)為你們隨時(shí)開(kāi)啟代加工的大門?！?br/>　　
　　“但這樣一來(lái)，鄭叔他們將會(huì)在長(zhǎng)時(shí)間都失去國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，最壞的結(jié)果甚至可能是徹底淪為低端。”
　　
　　鄭振川張了張嘴，半響后還是只發(fā)出了一聲嘆息。
　　
　　蘇遠(yuǎn)山望著兩人，回憶起后世喪心病狂的制裁，眼中閃過(guò)一抹難以名狀的情緒：“你們都知道，遠(yuǎn)芯目前在各個(gè)領(lǐng)域取得的成就，就類似于一座古舊城市里新建的幾座摩天大樓，看起來(lái)確實(shí)讓人振奮?！?br/>　　
　　“但西方呢？三百年的科技發(fā)展底蘊(yùn)，三次工業(yè)革命的誕生……真不是我們短短幾年，幾十年就能追上的。”